模具加热炉作为真空系统的主泵已有几十年的历史，但至今扩散泵的加热方式虽有变化，但并不尽如人意。

较早的电阻丝加热方法至今仍在使用。虽然提高可靠性容易，但对人石短路还是很容易的。

第二代干管模具加热炉加热器的使用寿命较长为100天。

第三代电阻模具加热炉加热炉分为圆饼式和扇形饼式。加热管的使用寿命略长于加热管。

但加热饼应靠近扩散泵的底部。用户很难做到这一点。另外，电线接入区域温度过高，触电区域容易氧化虚拟连接。虽然改进了N次，但故障率仍然很高。

电阻加热的第二代变体是插入扩散泵的电热管加热方法。这种加热方法具有加热速度快的优点。

但是，缺点也非常明显：一旦扩散泵内没有油，加热管就会干烧，连锁反应会导致管子爆炸、套管爆炸、扩散泵泄漏、扩散泵油开裂、氧化、碳化失效。让用户受苦。

科学的加热方法是将电磁感应加热器的加热技术转化为模具加热炉的加热。这导致了革命性的进步。

用这种方式加热的优点是加热快。节能，炉子本身不发热。炉子本身寿命长。故障率很低。